- 装置関連事業
- 太陽電池関連事業
- その他関連事業
装置関連事業
Quartz Products
石英製品
熱と化学変化に強い超高純度ガラス
高熱処理や化学処理が頻繁に行われる半導体製造工程。そこで活躍するのが、超高純度のシリカガラスからなる石英製品です。ウエーハの薄膜生成や拡散プロセス、その他搬送、洗浄工程で冶具、消耗品として利用される当社の石英製品は、細線化、高純度化の進む半導体プロセスをにおいて重要な役割を担っています。
石英製品事業グループ
Ferrotec Hangzhou
杭州 杭州大和熱磁電子有限公司
Ferrotec Dongtai
東台 江蘇富楽徳石英科技有限公司
Ferrotec Changshan
常山 浙江先導精密機械有限公司
FerroTec Alion Yamagata
山形 フェローテック・アリオン株式会社
この技術が使用されている産業
| オーディオ | 自動車 | エレクトロニクス | 医療機器 | 家電民生品 | その他の産業 | |
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| 装置関連事業 | ||||||
| 真空シール |
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| 石英製品 |
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| セラミックス |
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| SiCパーツ(CVD-SiC) |
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| シリコンパーツ |
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| EBガン |
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| 精密蒸着装置 |
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| 半導体用シリコンウエーハ |
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| 装置部品洗浄 | ||||||
| 電子デバイス事業 | ||||||
| 磁性流体 |
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| サーモモジュール |
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| パワー半導体用基板 |
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この技術の詳しい情報
- 株式会社フェローテック
- 石英製品
- https://product.ferrotec.co.jp/product/quartz/
Web
この技術の製造拠点
石英製品の事例
CVD装置
CVDは化学気相成長と呼ばれる薄膜製膜技術の一つです。加熱された基板に製膜を行いたい成分を含むガスを供給し、基板表面における化学反応により膜を堆積させます。
エッチング装置
エッチングとは薬液や反応ガスの腐食作用を利用した表面加工方法です。半導体製造においてはウエーハにパターン形成する際の薄膜除去方法として使用されます。ガスをプラズマ化し、加速したイオンと化学反応で削るドライエッチングと、酸やアルカリの腐食作用を利用するウェットエッチングがあります。