装置関連事業

Process Tools Parts
Cleaning

装置部品洗浄

半導体とFPD製造装置(TFT・OLED)の部品洗浄を行っています。
純水洗浄、超音波洗浄のほかにサンドブラスターやプラズマ溶射装置も完備しています。
また、最新の微細化である28nm対応の最新設備で、お客様のご要望にお応えしております。

精密再生洗浄事業グループ

FerroTec Anhui FTSA

安徽省 安徽富楽徳科技発展有限公司

設立
2018/12
半導体
ディスプレイ
30%
70%
総面積
24000㎡
クリーンルーム
2000㎡
サイズ能力
半導体
(PVD/CVD/DIFF/Etch/Photo-L)
ディスプレイ
長さ 4000mm
×幅 800mm
×奥行 500mm
10.5G
従業員数
325
特殊プロセス
精密洗浄 / 陽極酸化 / プラズマ溶射 / ヒ素処理 / ウォータージェット洗浄
強化された石英洗浄 / ビードブラスト / Al/Tiアーク溶射
住所
中国安徽省銅陵市金橋経済開発区内

Map

FerroTec Dalian FTST

大連 富楽徳科技発展(大連)有限公司

設立
2017/3
半導体
ディスプレイ
100%
0%
総面積
6400㎡
クリーンルーム
360㎡
サイズ能力
半導体
(PVD/CVD/DIFF/Etch/Photo-L)
ディスプレイ
長さ 1500mm
×幅 800mm
×奥行 500mm
---
従業員数
99
特殊プロセス
精密洗浄 / 強化された石英洗浄 / ビードブラスト / Al/Tiアーク溶射
住所
中国遼寧大連大連開発区保税区海明路179-8号

Map

FerroTec Tianjin FTST

天津 富楽徳科技発展(天津)有限公司

設立
2011/9
半導体
ディスプレイ
50%
50%
総面積
4000㎡
半導体:1500㎡
ディスプレイ:2500㎡
クリーンルーム
400㎡
半導体:200㎡
ディスプレイ:200㎡
サイズ能力
半導体
(PVD/Etch/CVD)
ディスプレイ

長さ 1500mm
×幅 800mm
×奥行 500mm
8.5G
長さ 3200mm
×幅 800mm
×奥行 1000mm
従業員数
99
特殊プロセス
精密洗浄 / ビードブラスト / Alアーク溶射
住所
中国天津市武清区京浜工業園景軍西園2#

Map

FerroTec Sichuan FTSS

四川省 四川富楽徳科技発展有限公司

第一工場
設立
2016/1
半導体
ディスプレイ
0%
100%
総面積
5000㎡
クリーンルーム
550㎡
サイズ能力
半導体
ディスプレイ
---
8.5G
長さ 3200mm
×幅 800mm
×奥行 1000mm
従業員数
128
特殊プロセス
精密洗浄 / ビードブラスト / Alアーク溶射
住所
中国四川省内江市内江経済技術開発区漢晨路888号

Map
    第二工場
設立
2018/3
半導体
ディスプレイ
20%
80%
総面積
16000㎡
クリーンルーム
900㎡
半導体:300㎡
ディスプレイ:600㎡
サイズ能力
半導体
(PVD/Etch/CVD)
ディスプレイ

長さ 1500mm
×幅 800mm
'×奥行 500mm
6G
長さ 3200mm
×幅 1200mm
×奥行 8500mm
従業員数
84
特殊プロセス
精密洗浄 / ビードブラスト / Alアーク溶射
住所
中国四川省内江市内江経済技術開発区漢晨路888号

Map

FerroTec Shanghai FTSC

上海 上海富楽徳智能科技発展有限公司

設立
2019/6
半導体
ディスプレイ
100%
0%
総面積
1500㎡
クリーンルーム
200㎡
サイズ能力
半導体
(ETCH)
ディスプレイ
長さ 800mm
×幅 800mm
×奥行 400mm
---
従業員数
40
特殊プロセス
精密洗浄 / ビードブラスト / Alアーク溶射
住所
中国上海市宝山城市工業園区山連路181号

Map
この製品の製造拠点
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