装置関連事業製造工程に不可欠なデバイス
EBガン
| オーディオ | 自動車 | エレクトロニクス | 医療機器 | 家電民生品 | その他の産業 | |
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| 装置関連事業 | ||||||
| 真空シール |
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| 石英製品 |
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| セラミックス |
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| SiCパーツ(CVD-SiC) |
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| シリコンパーツ |
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| EBガン |
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| 精密蒸着装置 |
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| 半導体用シリコンウエーハ |
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| 装置部品洗浄 | ||||||
| 電子デバイス事業 | ||||||
| 磁性流体 |
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| サーモモジュール |
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| パワー半導体用基板 |
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