高純度ポリシリコン・プロセスで活躍するシリコン素材の冶具

高純度ポリシリコン製治具を初めて可能にしたSiFusionTM プロダクトはウエーハの成膜や拡散プロセスにおいて革新的なソリューションを提供します。反応ガスの拡散プロセスにおける使用時間の延長と稼働率向上、洗浄回数の削減などを実現し、お客様のトータルコスト削減に貢献しています。