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装置関連事業
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その他関連事業

装置関連事業製造工程に不可欠なデバイス

Silicon Parts

シリコンパーツ

高純度ポリシリコン・プロセスで活躍するシリコン素材の冶具

高純度ポリシリコン製治具を初めて可能にしたSiFusionTM プロダクトはウエーハの成膜や拡散プロセスにおいて革新的なソリューションを提供します。反応ガスの拡散プロセスにおける使用時間の延長と稼働率向上、洗浄回数の削減などを実現し、お客様のトータルコスト削減に貢献しています。

この技術が使用されている産業
オーディオ 自動車 エレクトロニクス 医療機器 家電民生品 その他の産業
装置関連事業
真空シール  
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石英製品  
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セラミックス  
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SiCパーツ(CVD-SiC)  
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シリコンパーツ  
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EBガン    
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精密蒸着装置    
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半導体用シリコンウエーハ    
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装置部品洗浄            
電子デバイス事業
磁性流体
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サーモモジュール  
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パワー半導体用基板  
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この技術の詳しい情報
株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズ
シリコンパーツ
https://ft-mt.co.jp/product/silicon_parts/

Web
この技術の製造拠点

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