设备相关产品制造工程不可或缺的设备
碳化硅部件(CVD-SiC)
碳化硅产品是硅(Si)和碳(C)1比1结合而成的一种化合物,具有较高的抗磨损性、耐热性和耐腐蚀性。它们被广泛地应用于半导体材料的制造过程中需要的晶圆舟、管和代替硅片的仿真晶圆,也广泛运用于高温时使用的夹具产品。
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