米国製Temescalの蒸着装置

高機能なEBガン（電子銃）・高圧電源を心臓部とした
Temescal装置は、大学・研究所向け小規模生産用ベル
ジャータイプから、大規模生産用高スループットタイプ
までの装置群を有しています。
化合物半導体での世界標準機として、数多くのお客様に
使用されており、現在は、LED、通信チップ製造プロセス'
等での導入が進んでいます。