Region

Ferrotec Global

装置関連事業
電子デバイス事業
太陽電池関連事業
シリコン
その他関連事業

装置関連事業製造工程に不可欠なデバイス

EB Components

EBガン

エレクトロン・ビームガン
(電子銃)

製膜装置内でターゲット素材に向け
電子ビームを照射し、
素材を蒸発させる役割を持った
エレクトン・ビームガン
高品質の電子銃です。

BEU

EVM 4

EVM 6

EVM 8

Multi-Tiegel

Twin

この技術が使用されている産業
オーディオ 自動車 エレクトロニクス 医療機器 家電民生品 その他の産業
装置関連事業
真空シール  
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石英製品  
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セラミックス  
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SiCパーツ(CVD-SiC)  
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シリコンパーツ  
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EBガン    
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精密蒸着装置    
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半導体用シリコンウエーハ    
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装置部品洗浄            
電子デバイス事業
磁性流体
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サーモモジュール  
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パワー半導体用基板  
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この技術の詳しい情報
Ferrotec Europe GmbH
EB-Gun / Temescal Division of Ferrotec
https://www.ferrotec-global.com/eu_2.php?lang=de

Web
この技術の製造拠点

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